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공지사항
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작성일 : 10-01-19 09:35
실리콘/MEMS 실험실 석영기판(Quartz wafer) 공정 가능
 글쓴이 : 관리자
조회 : 12,574  

안녕하세요

실리콘/MEMS 실험실 일부 장비를 업그레이드하여 투명한 석영기판(Quartz wafer) 공정이 가능해졌습니다

기존 실리콘기판과 더불어 석영기판도 공정이 가능하오니 많은 이용 바랍니다

석영기판이 가능한 장비는 아래와 같습니다

- 아 래 -

1. Furnace
2. LPCVD
3. PECVD #2
4. Stepper #1
5. Track #2
6. Dry etcher #5
7. Dry etcher #6
8. Sputter #3


 
 

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