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물성분석 장비현황
한국전자통신연구원 융합부품실험실 홈페이지 방문을 환영합니다.
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SIMS ESCA AES TEM SEM XRD


 장비모델 : Cameca ims-4f
 측정원소 : H ~ U
 검출한계 : ppm ~ ppb
 질량분해능 : 10,000 이상
 깊이분해능 : 50 ~ 200Å
 수평분해능 : 1㎛ 이하

 극미량 불순물의 깊이분포 분석
 소재표면의 미량원소분석
 2차원 원소분포도 작성
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